工作原理:
用等離子體材料工作站,低真空條件下,在射頻13.56 MHz作用下
產生高活性等離子體,從而實現材料生長、材料表界面改性或材料物相摻雜的一
種先進材料制備和材料摻雜改性技術。
技術優勢:
1:1000瓦等離子功率設計,實現其他等離子體設備不具備的材料制備功能
2:突破了氣、固、液多相等離子技術,實現了多元等離子體及其材料制備和改性
3:發明了原位等離子體裝置,突破了空氣敏感、易氧化物質的等離子體制備和
改性,實現了鋰、鈉、鉀等金屬負極和硫系固體電解質的等離子體改性
4. 同時適用于常規材料和空氣敏感物質,提供與設備匹配的材料制備和改性技術




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